[로이슈 편도욱 기자] 반도체, 디스플레이, Solar용 건식진공펌프 전문기업인 ㈜엘오티베큠(대표 오흥식)은 반도체공정용 진공펌프 및 디스플레이 반도체 공정장비용 초고진공 터보분자펌프 개발 2건이 2020년 신규 국책과제에 선정되었다고 밝혔다 .

소재부품기술사업으로 반도체 공정용 진공펌프 개발에 총사업비 161억 규모로 정부출연금은 약 100억원이다.

동 사업은 공정 부산물 이송 능력이 향상되며 기존 대비 약 10% 이상 운전 소비 전력이 저감되는 CVD공정용 드라이펌프 및 불소계 부식성 공정가스에 대한 내부식성이 향상된 저소비전력, 소형 ETCH공정용 드라이펌프 개발을 목표로 하고있다.

기계산업 핵심기술개발사업으로 디스플레이 반도체 공정장비용 1.3E-8mbar이하 초고진공 터보분자펌프 기술개발에 총 사업비 약90.2억 규모로 정부출연금은 60억원이다.

반도체 및 디스플레이 공정장비에 필요한 1E-8mbar 이하의 고진공을 만들기 위해 다단의 블레이드 로터를 자기부상 베어링을 활용하여 고속 회전 시켜 기체 분자를 배기하는 디지털 제어 방식의 터보분자펌프의 상품화 기술 개발을 목표로 하고 있다.

편도욱 로이슈 기자 toy1000@hanmail.net