젬백스의 해당 제품은 TSMC가 신규로 설치할 일본 TEL(Tokyo Electronic Ltd.) 사의 EUV(Extreme Ultra Violet) spinner 용 최신 장비에 적용되어 테스트를 진행할 예정이며, 해당 테스트가 성공적으로 마무리된다면 TSMC의 최신 3나노 Fab 공정에 새롭게 투입되게 된다. 여기서 EUV(Extreme Ultra Violet)는 반도체를 만드는 데 있어 중요한 과정인 포토공정에서 극자외선 파장의 광원을 사용하는 리소그래피(lithography) 기술 또는 이를 활용한 제조공정으로 차세대 반도체 칩 제조 공정의 핵심기술을 말한다.
젬백스 관계자는 "대만 산업 기술 연구기관과 같은 공신력 있는 평가 기관의 검증 결과를 바탕으로 금번 테스트의 단독 평가 대상으로 선정되어 진행하는 만큼, 당사 필터의 기술력은 이미 인정받았다고 볼 수 있다"라며 자신감을 보였다.
편도욱 로이슈 기자 toy1000@hanmail.net